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特種氣體探測系統(tǒng)規(guī)范

更新時間：2022-08-19   點擊次數(shù)：2118次

特種氣體探測系統(tǒng)

5.2.1 儲存、輸送、使用特種氣體的下列區(qū)域或場所應(yīng)設(shè)置特種氣體探測裝置：
1 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風管口處；

2 生產(chǎn)工藝設(shè)備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門箱的排風管口處，工藝設(shè)備的排風管口處；

3 生產(chǎn)工藝設(shè)備的特種氣體的廢氣處理裝置排風出管口處；

4 惰性氣體間可能產(chǎn)生窒息的區(qū)域；


   5 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設(shè)備間；

6 其他可能發(fā)生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環(huán)境。

5.2.2 易燃性、自燃性特種氣體探測系統(tǒng)、有毒氣體檢測裝置應(yīng)設(shè)置一級報警或二級報警。
5.2.3 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體、氧氣檢測裝置報警設(shè)定值應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 自燃性、易燃性氣體的一級報警設(shè)定值不應(yīng)大于25%易燃性氣體爆炸濃度下限值，二級報警設(shè)定值不應(yīng)大于50%易燃性氣體爆炸濃度下限值；

2 劇毒性、毒性氣體的一級報警設(shè)定值不應(yīng)大于 50%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值一時間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)，二級報警設(shè)定值不應(yīng)大于100%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值一時間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)；

3 設(shè)在惰性氣體間的氧氣探測器，其一級報警設(shè)定值不應(yīng)小于19.5%氧氣體積濃度(V/V)，二級報警設(shè)定值不應(yīng)小于18%氧氣體積濃度(V/V)；

4 二氧化碳氣體系統(tǒng)宜設(shè)二氧化碳氣體探測器，其報警設(shè)定值應(yīng)為5000ppm。

5.2.4 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體、氧氣檢測裝置的檢測報警響應(yīng)時間應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 自燃性、易燃性氣體檢測報警采用擴散式應(yīng)小于20s，吸入式應(yīng)小于 15s；

2 劇毒性、毒性氣體檢測報警采用擴散式應(yīng)小于40s，吸入式應(yīng)小于20s；

3 氧氣檢測報警采用擴散式應(yīng)小于20s，吸入式應(yīng)小于15s。

5.2.5 當特種氣體相對密度小于或等于0.75時，特種氣體探測器應(yīng)同時設(shè)置在釋放源上方和廠房最高點易積氣處。當特種氣體相對密度大于0.75 時，特氣體探測器應(yīng)設(shè)置在釋放源下方離地面0.3m~0. 5m處。
5.2.6 硅烷排風管道的氣體探測器的報警設(shè)定值，應(yīng)小于或等于50ppm，并應(yīng)與硅烷氣源的自動切斷閥聯(lián)鎖；硅烷站環(huán)境氣體探測器的報警設(shè)定值應(yīng)小于或等于5ppm，環(huán)境氣體探測器報警時，硅烷控制系統(tǒng)不應(yīng)自動切斷硅烷輸送管路。
5.2.7 有機金屬前軀體材料應(yīng)設(shè)置相應(yīng)的偵測及火災報警裝置，當無對應(yīng)偵測器時，應(yīng)根據(jù)其分解物選擇偵測器。

條文說明

5.2.1 本條是對電子工廠中設(shè)置特種氣體探測器位置的區(qū)域或場所的規(guī)定，本條第1款一第5款為強制性條款，必須嚴格執(zhí)行。

1~3 自燃性、易燃性、劇毒性 、毒性 、腐蝕性氣體儲存 、分配設(shè)備的排風口，因發(fā)生特種氣體泄漏，可能達到規(guī)定報警濃度，應(yīng)設(shè)氣體探測器。

4 使用惰性氣體房間應(yīng)設(shè)置氧氣探測器 ，主要是因為惰性氣體泄漏后，可能使空氣中氧濃度降低到使房間的作業(yè)人員造成窒息，且國內(nèi)外已有多個工廠發(fā)生惰性氣體造成人員窒息傷亡事故。

5 自燃性、易燃性 、劇毒性、毒性 、腐蝕性氣體儲存、分配間內(nèi)的氣體發(fā)生泄漏、易積聚處應(yīng)設(shè)氣體探測器，主要是因為氣體儲存、分配間的體積相對于生產(chǎn)區(qū)較小，發(fā)生泄漏容易聚集，并達到報警的數(shù)字。

6 自燃 性 、易 燃 性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的使用場所是指使用以上氣體的工藝設(shè)備房間內(nèi)，氣體操作箱等氣體可能發(fā)生泄漏處附近;技術(shù)夾層內(nèi)氣體探測器是設(shè)置在有閥門箱等可能發(fā)生氣體泄漏、易積聚的設(shè)備內(nèi)。

《國際防火規(guī)范》FIC-201 8 第 27 03.13 條(氣體探測系統(tǒng))也做了規(guī)定，該條款摘錄如下：

27章 半導體生產(chǎn)裝置

2703.13 氣體探測系統(tǒng)

符合196節(jié)的氣體探測系統(tǒng)將用于 HPM 氣體，按照2703.13.1至2703.13.2.2的要求，氣體和易燃性氣體的生理學報警閡值高于可接受允許暴露限制(Permissible Exposure Limit PEL)。

2703.13.1 氣體偵測器需要布置 的地方。2703.13.1.1至2703.13.1.4 節(jié)規(guī)定了氣體偵測器應(yīng)布置的區(qū)域。

2703.13.1.1 生產(chǎn)區(qū)，使用 HPM氣體的電子生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)設(shè)置氣體偵測器。

2703.13.1.2 HPM房間，使用HPM氣體的HPM房間應(yīng)設(shè)置氣體偵測器。

2703.13.1.3 氣體柜，密閉排風和氣體房 間。HPM 氣體的氣瓶柜和密閉排風環(huán)境，HPM 氣體未放置在氣瓶柜或密閉排風的環(huán)境應(yīng)設(shè)置氣體偵測器。

2703.13.1.4 走道，H P M 氣 體穿越由墻、地面、頂面構(gòu)成的走道應(yīng)設(shè)置氣體偵測器。

5.2.2 由于自燃性、易燃性、有毒氣體一旦泄漏超過規(guī)定值，危害性極大，為此做了本條規(guī)定，一級報警后，即使氣體濃度發(fā)生變化，報警仍應(yīng)持續(xù)，只有經(jīng)人工確認并采取相應(yīng)的措施后才能停止報警。

特 種氣體探測系統(tǒng)檢測裝置主要有以下幾種：

(1) 自燃性、易燃性氣體檢測采用催化燃燒型檢 測 裝 置 、半導體檢測裝置、電化學檢測裝置。

(2) 毒性氣體檢測采用電化 學 檢 測 裝置。

(3) 根據(jù)使用場所的不同確定不同特種氣體采樣方式，正確選用擴散式檢測裝置、單點或多點吸人式氣體檢測裝置。

5.2.3 為了明確檢測報警裝置的工作狀況，防止事故發(fā)生，本條規(guī)定了自燃性、易燃性、毒性氣體檢測裝置報警設(shè)定值的要求，本條第1款-第3款為強制性條款，必須嚴格執(zhí)行。

1 本款規(guī)定了自燃性 、易燃性氣體的一級報警和二級報警設(shè)定值，一級報警設(shè)定值不應(yīng)大于25%易燃性氣體爆炸濃度下限值，二級報警設(shè)定值不應(yīng)大于50%易燃性氣體爆炸濃度下限值是為了在氣體早期泄漏時，通過一次和二次監(jiān)測報警，自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥，關(guān)斷氣源，防止事態(tài)擴大，采用25%和50%分別作為一級和二級報警值時行業(yè)內(nèi)的通常做法，既可以判斷氣體泄漏，泄漏的氣體濃度又不會引起爆炸。

2 本款規(guī)定了劇毒性 、毒性氣體的一級報警和二級報警設(shè)定值，目的是在氣體早期泄漏時，自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥，保護工作人員的生命安全，一級、二級報警設(shè)定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗規(guī)定的。

3 本款 規(guī) 定 了 惰性氣體間的氧氣探測器的一級報警和二級報警設(shè)定值，目的是為了防止惰性氣體泄漏導致人員窒息傷亡，氧氣探測器一旦報警，啟動應(yīng)急排風和自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥，保護工作人員的生命安全，一級、二級報警設(shè)定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗規(guī)定的。

4 本款規(guī)定 二 氧 化 碳氣體系統(tǒng)宜設(shè)二氧化碳氣體探測器，主要是因為近年來，電子工廠發(fā)生二氧化碳泄漏導致人員傷亡的情況，為保護人員生命安全，制定本款，目前國內(nèi)電子工廠多采用5000ppm作為CO

2的報警值。美國消防協(xié)會標準《壓縮氣體和低溫液體規(guī)范》NFPA 55-2016第A.13.6.2.1條也做了規(guī)定，美國政府工業(yè)衛(wèi)生醫(yī)師學會(ACGIH)關(guān)于TLVS和BEIS，即化學物質(zhì)、物理藥物和生物暴露數(shù)組的臨界極限數(shù)組(TLVS)，CO2的最高允許濃度值一時間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)確定為5000ppm，短期數(shù)組(STEL-TLV)為30000ppm。
5.2.4 本條確定的數(shù)值符合現(xiàn)行國家標準《石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設(shè)計標準》GB 50493中的有關(guān)規(guī)定，同時結(jié)合半導體工廠使用氣體檢測裝置產(chǎn)品的快速響應(yīng)要求做出檢測報警響應(yīng)時間規(guī)定。

5.2.5 氣體探測器的設(shè)置位置是否恰當將直接影響到能否及時、正確報警，為確保生產(chǎn)廠房和特種氣體系統(tǒng)安全、穩(wěn)定運行，本條按特種氣體相對密度的不同，做出了氣體探測器的設(shè)置位置不同的規(guī)定。

5.2.6 本條為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。規(guī)定在硅烷排風管道中設(shè)置氣體探測器，設(shè)定報警值并與硅烷氣源的自動切斷閥進行聯(lián)鎖，目的是為了硅烷系統(tǒng)能做到早期報警，防止事故產(chǎn)生。規(guī)定硅烷站設(shè)置環(huán)境氣體探測器，設(shè)定報警值但不與硅烷自動控制系統(tǒng)聯(lián)鎖，這是為了防止環(huán)境中的硅烷氣體探測器誤報警導致影響正常生產(chǎn)，綜合考慮安全與生產(chǎn)的關(guān)系后，規(guī)定報警但不切斷輸送系統(tǒng)，工作人員可在不停產(chǎn)的情況下，確認報警是否是由硅烷泄漏引起還是其他原因造成的誤報。美國國家標準學會標準《硅烷和硅烷混合物的儲存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第n.1.4.1條(排風區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控)和11.1.4.2條(排風區(qū)域外的監(jiān)控)也做了規(guī)定，現(xiàn)摘錄如下：

11.1.4.1 排風區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控：排風區(qū)域應(yīng)設(shè)置監(jiān)控裝置，當硅烷氣體濃度小于或等于50ppm時，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報警。

11.1.4.2 排風區(qū)域外的監(jiān)控：排風區(qū)域外應(yīng)設(shè)置監(jiān)控裝 置，當硅烷氣體濃度小于或等于5ppm 時，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報警。